الولايات المتحدة الأمريكية كري هول أيون المصدر EH 400 ميزات المنتج :

بيرتونKRIقاعة ايون المصدرeH 400سمات :

1.انفصال الجمعية الأنودومن السهل الحفاظ علىنوقت الصيانة,تقليل وقت التوقفنالتوصيل والتشغيل الاستعداد الأنود

2.شعاع واسع وارتفاع التصريف الحاليومعدل النقش موحدةنالنقش عالية الكفاءةنايون تصفيح الفيلم بمساعدة عاليةIADكفاءة

3.متعددة الأغراضوينطبق علىLoad lock /نظام فراغ عالية جدا

4.كفاءة تحويل البلازما ومستقرة التحكم في الطاقة