[ كر ] قاعة أيون مصدر [ ه 1000 ] منتوج صفة :

بيرتونKRIقاعة ايون المصدرeH 1000خصائصس

1.انفصال الجمعية الأنودومن السهل الحفاظ علىنوقت الصيانة,تقليل وقت التوقفنالتوصيل والتشغيل الاستعداد الأنود

2.شعاع واسع وارتفاع التصريف الحاليوعالية الكثافة الحاليةنمعدل النقش موحدةنالنقش عالية الكفاءةنايون تصفيح الفيلم بمساعدة عاليةIADكفاءة

3.متعددة الأغراضوينطبق علىLoad lock /نظام فراغ عالية جدانسهلة التركيبنلا تحتاج إلى تبريد المياه

4.كفاءة تحويل البلازما ومستقرة التحكم في الطاقة