إن otl-pecvd-1200-1400-1200 ثلاث درجات حرارة المنطقة PECVD نظام يتكون من ثلاثة انزلاق القطب نوع فراغ فرن أنبوبي ، كوارتز فراغ الغرفة ، الترددات اللاسلكية إمدادات الطاقة ، GX نظام العرض الجوي ، نظام ضخ الهواء ، فراغ نظام القياس ، محرك كهربائي آلية .

السمات الرئيسية :

1 ، من خلال الترددات اللاسلكية امدادات الطاقة الكوارتز فراغ غرفة الغاز في الدولة الأيونية .

درجة الحرارة المطلوبة PECVD هو أقل من ذلك من الأمراض القلبية الوعائية .

3 ، يمكن السيطرة عليها من خلال التردد إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية ترسب الفيلم حجم الإجهاد

4 ، PECVD أعلى معدل الترسيب الكيميائي للبخار ، التوحيد ، والاتساق والاستقرار من الأمراض القلبية الوعائية .

5 ، وتستخدم على نطاق واسع في : نمو أنواع مختلفة من الأفلام ، مثل : SiOX ، SiNX ، SiOXNY وغير متبلور السليكون ( سي : ح ) .

ثلاث درجات حرارة المنطقة PECVD النظام هو نظام التدفئة والتبريد السريع PECVD ، في ثلاثة أنابيب فرن تركيب زوج من الشرائح الكهربائية ، يمكن استخدام نظام انزلاق الكهربائية . التدفئة والتبريد تصل إلى 100 درجة مئوية / دقيقة . من أجل الحصول على أسرع التدفئة ، فرن يمكن أن تكون ساخنة مسبقا إلى درجة حرارة محددة مسبقا ، ثم الفرن يمكن نقلها إلى عينة الصف .مجموعة . للحصول على أسرع التبريد ، فرن يمكن نقلها إلى الطرف الآخر بعد عينة ساخنة . التدفئة والتبريد قيم يمكن أن يتحقق في فراغ أو غاز خامل البيئة .10 ° C / S ، هو انخفاض تكلفة التدفئة والتبريد السريع في منطقة درجة الحرارة المزدوجة PECVD النظام .

ثلاثة درجة حرارة المنطقة PECVD نظام يستخدم كانتال سلك المقاومة و السيليكون الكربون قضيب عنصر التدفئة ، واعتماد هيكل قذيفة مزدوجة و 30 قسم برنامج التحكم في درجة الحرارة متر ، مرحلة التحول الزناد ، الثايرستور السيطرة ، فرن يستخدم المستوردة من اليابان الألومينا الكريستالات الألياف المواد ، كلا طرفي الفرن أنبوب مختومة من قبل الفولاذ المقاوم للصدأ شفة ، شفة الفولاذ المقاوم للصدأ مزودة فوهة الهواء ، صمامفائدة نموذج يحتوي على مزايا عملية مريحة ، عملية بسيطة ، وما فائدة نموذج يحتوي على مزايا التوازن في مجال درجة الحرارة ، وانخفاض درجة الحرارة السطحية ، وارتفاع سرعة رفع درجة الحرارة ، وتوفير الطاقة ، وما إلى ذلك ، نماذج المنفعة هي مناسبة خاصة بالنسبة للجامعات ، ومعاهد البحوث العلمية والصناعية والتعدين الشركات لجعل ارتفاع درجة حرارة الغلاف الجوي حرق . المنتج المثالي لنمو مختلف الأفلام .

( 1 ) سمك د من نهاية الساخنة من كربيد السيليكون هو 14mm ، 12mm المستخدمة من قبل الشركات المصنعة المشتركة ، تدفئة نهاية سميكة ، وليس من السهل أن ينحني ، سطح قضيب تحميل منخفضة ، والخدمة الطويلة في الحياة .

（2 ) ، م نهاية الباردة طول 210mm ، والمصنعين عموما استخدام 180mm ، نهاية الباردة طويلة أعلى درجة حرارة منخفضة .

( 3 ) غير متبلور فيلم أكسيد على سطح قضيب السيليكون هو المدمجة ، والتي يمكن أن تحمي قضيب الكربون أفضل .

عندما الدائرة أكثر من الحالية أو تسرب ، اجتماع فارغ تلقائيا قطع

الغلاف الجوي فرن أنبوبييمكنفائدة نموذج يتم توفيرها مع واجهة الاتصالات والبرمجيات ، والتي يمكن التحكم في كل معلمة من الفرن مباشرة من خلال جهاز الكمبيوتر ، ويمكن مراقبة درجة الحرارة الكهروضوئية و SV على الفرن و حالة التشغيل من الصك من جهاز الكمبيوتر .

( 1 ) فراغ شفط وتصفية تشكيل عالية الجودة الألومينا الألياف الكريستالات عالية النقاء علاج الفرن .
( 2 ) تشكيل التكنولوجيا اليابانية .
( 3 ) فرن المواد منخفضة السعة الحرارية ، وانخفاض معامل التوصيل الحراري ، وبالتالي أقل تبديد الحرارة ، والعزل الحراري جيدة ، انعكاسية عالية . مجال درجة الحرارة التوازن .
( 4 ) فرن الألومينا الأسلاك غرامة وطويلة ، وارتفاع درجة الحرارة المقاومة ، ومقاومة الحرارة الباردة التوسع والانكماش قدرة قوية
( 5 ) سطح الموقد على نحو سلس ونظيف ، وليس من السهل إسقاط مسحوق .

( جميع الأجهزة الكهربائية المستوردة من خلال شهادة ماي )