إن otl-pecvd-1200pecvd النظام يتكون من otl1200 فراغ أنبوب فرن الكوارتز فراغ الغرفة ، الترددات اللاسلكية السلطة ، GX نظام العرض الجوي ، نظام ضخ الهواء ، فراغ نظام القياس .

السمات الرئيسية :

1 ، من خلال الترددات اللاسلكية امدادات الطاقة الكوارتز فراغ غرفة الغاز في الدولة الأيونية .

2 - درجة حرارة PECVD أقل من تلك التي من الأمراض القلبية الوعائية .

3 ، يمكن السيطرة عليها من خلال التردد إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية فيلم المودعة حجم الإجهاد .

4 ، PECVD أعلى معدل الترسيب الكيميائي للبخار ، التوحيد ، والاتساق والاستقرار من الأمراض القلبية الوعائية .

5 ، وتستخدم على نطاق واسع في : نمو أنواع مختلفة من الأفلام ، مثل : SiOX ، SiNX ، SiOXNY وغير متبلور السليكون ( سي : ح ) .

إن otl-pecvd-1200 PECVD نظام يستخدم كانتال سلك المقاومة في السويد مثل عنصر التدفئة ، ويعتمد هيكل قذيفة مزدوجة و 30 قسم برنامج التحكم في درجة الحرارة متر ، مرحلة التحول الزناد ، الثايرستور السيطرة ، فرن يستخدم الكريستالات الألومينا الألياف المواد ، كلا طرفي الفرن أنبوب يمكن أن تكون مختومة من قبل الفولاذ المقاوم للصدأ شفة ، شفة الفولاذ المقاوم للصدأ يتم توفيرها مع فوهة الهواء ، صمام ، وقياس الضغط ، فراغ يمكن أن تصل إلى 10-3 باسكال ، مع درجة حرارة مجال التوازن ، وانخفاض درجة الحرارة السطحية ، وارتفاع سرعة رفع درجة الحرارة ، وتوفير الطاقة ، وانخفاض الأسعار ، وغيرها من المزايا .

( 3 ) معادلة المقاومة ، درجة حرارة مجال معادلة جيدة

( 4 ) عناصر التدفئة : السويد كانتال A1 استيراد سلك المقاومة ( سلك المقاومة يمكن أن تكون مضمونة لمدة 2 سنة )

عندما الدائرة أكثر من الحالية أو تسرب ، اجتماع فارغ تلقائيا قطع

فائدة نموذج يتم توفيرها مع واجهة الاتصالات والبرمجيات ، والتي يمكن التحكم في كل معلمة من الفرن مباشرة عن طريق الكمبيوتر ، ويمكن مراقبة درجة الحرارة الكهروضوئية و SV على الفرن و حالة التشغيل من الصك من جهاز الكمبيوتر .

( 2 ) تشكيل التكنولوجيا اليابانية .

( 3 ) تباعد و الملعب من سلك المقاومة في الفرن كلها مرتبة حسب أفضل التكنولوجيا الحرارية في اليابان .

( 4 ) 4 أسابيع التدفئة ، درجة الحرارة أكثر توازنا في الميدان

( جميع الأجهزة الكهربائية المستوردة من خلال شهادة ماي )