نوع جديد من بورا بلس هو محلل كثافة متر مصممة خصيصا لتلبية الاحتياجات المتغيرة من المعدات الأحجام والمؤشرات في رقاقة الصناعة . بورا بلس هو على الانترنت تتبع الرطوبة الارسال ، متعدد القنوات المثبتة في مصنع أشباه الموصلات يؤدي إلى نهاية خط الانتاج من الغاز ، وتستخدم لرصد تطبيقات فائقة النقاء غاز خامل . نظام توزيع الغاز في المصنع هو معقد ، ينطوي على العديد من الفروع ، العقد ، واستخدام النقاط . ولذلك ، بعد رصد الرطوبة التقليدية نقطة ، فإنه يمكن أن يؤدي إلى تسرب الرطوبة بسبب تسرب طفيف ، وانخفاض كفاءة تصميم النظام ، عنصر الفشل أو خطأ في العملية ، وما إلى ذلك ، مما يؤثر على استخدام المصب . بورا بلس المثبتة في نظام التوزيع يمكن أن توفر استجابة سريعة إشارة . 1 جزء في البليون وقت الاستجابة للتغيرات أقل من 1 دقيقة . بقعة مشرقة استجابة سريعة إلى جزء في المليون مستوى الرطوبة الاختلاف حساسية منخفضة الرطوبة جزء في المليون ( < 1 جزء في المليون ) مفهوم جديد متعدد نقطة قياس تركيب انخفاض متطلبات الصيانة مصباح إشارة نوع مؤشر حالة يمكن تعيين نقاط التحذير والإنذار الناقل Modbus شبكة التوافق برنامج متعدد القنوات واجهة التحكم عن بعد خط أنابيب اختبار ( UHP ) الترا الغاز النقي
المؤشرات الفنية
سرعة الاستجابة وقت الاستجابة من 1 جزء في المليون من 20 جزء في المليون من الرطوبة في 1 دقيقة مجموعة من الرطوبة 1 ppb إلى 20000 ppm مجموعة الضغط 0 إلى 10 بار مستوى الجهد 300 بار اختبار تسرب 0-9 mbar لتر / ثانية نطاق تدفق العمل 1 ~ 10 لتر / دقيقة درجة حرارة التشغيل 5 ~ 40 درجة مئوية درجة حرارة التخزين 30 ~ 70 درجة مئوية قوة إمداد تموين 20 ~ 28 فولت DC استهلاك الطاقة ث الصمامات الخارجية الصف 500 ما تذوب بسرعة إخراج البيانات الناقل Modbus أسكي سلكين RS485 إنذار إنذار الإخراج طريق أقصى الجهد 40 فولت DC الحد الأقصى الحالي 100 ميلا أمبير مواد الاتصال الغاز شل المواد الفولاذ المقاوم للصدأ ايسي 316L ، السطح الداخلي electropolishing < 10 را هيكل الاستشعار الألومينا المنحل بالكهرباء ، طلاء الذهب حماية الطبقة العليا ، وانخفاض طبقة الألومنيوم حجم الداخلية 4.4 سم مكعب وزن . 450 غرام مسار الغاز واجهة 1/4 'م فيديو واجهة الكهربائية 9 - دبوس نوع د - م واجهة إي إم سي EN50081-2 و EN50082-2