مجهر القوة الذرية xe-15

أداة مقدمة :

بارك xe-15 عينة شاملة التوافق . فائدة نموذج يوفر مريحة وموثوق بها بيئة اختبار عينات من مختلف الأحجام والأشكال والكميات . حلقة مغلقة س ص الماسح الضوئي ، الذي يلغي تأثير الانحناء خطأ ويوفر الخطي . صحيح عدم الاتصال وضع المسح الضوئي يوسع نوع العينة ، وفي الوقت نفسه ، إلى حد كبير يطيل عمر المسبار ويقلل من تكلفة الاستخدام .

المعلمات التقنية من مجهر القوة الذرية XE-15 :

ماسح ضوئي

س ص الماسح الضوئي

مرنة التوجيه حلقة مغلقة السيطرة على وحدة واحدة الماسح الضوئي

مجموعة المسح الضوئي 100 ميكرومتر * 100 ميكرومتر ( اختياري 50 ميكرومتر * 50 ميكرومتر )

إزاحة الطائرة : < 2 نانومتر ( 40 ميكرومتر * 40 ميكرومتر المسح )

ض الماسح الضوئي

توجيه مرنة قوية الماسح الضوئي

مجموعة المسح الضوئي 12 ميكرون ( اختياري 25 ميكرون )

تردد الرنين

سطح التصوير الضوضاء : 0.03nm

عينة الجدول

عينة الجدول نوع : 16 عينة الجدول / 150 مم القطر فراغ الامتزاز الجدول ( اختياري 200 مم القطر فراغ الامتزاز الجدول )

حجم العينة : 150mm * 150mm * 20mm

وزن العينة : 500g زوي دا

عينة مجموعة الجدول المحمول : 150mm * 150mm ( اختياري 200mm * 200mm )

السمات الرئيسية :

تصميم مبتكرة متعددة موقف عينة الجدول ، وتوفير كفاءة العمل

● أكثر من 16 عينة يمكن مسحها ضوئيا في عملية واحدة زوي

● عينة وضع بسيط ، مسح سريع

• تحسن كبير في دقة البيانات وتكرارها

دعم عينة كبيرة لتلبية احتياجات التنمية في هذه الصناعة

● زوي كبيرة تدعم 200 ملم رقاقة ، وتلبية احتياجات المستخدمين الحالية والمستقبلية

● تصميم خاص لتلبية الاحتياجات الفعلية للمستخدمين ذات الصلة أشباه الموصلات

اختيار نمط وظيفي غني

● الكمال دعم مختلف وظائف SPM

● دعم مجموعة متنوعة من وسائط قياس اختياري

● دعم مجموعة متنوعة من الملحقات الاختيارية ، والتمدد الأداء المتفوق