ذكي كتلة تدفق متر تدفق الغاز الساخن نوع كتلة صغيرة تحكم تدفق متر

استخدام ميزة
كتلة تحكم تدفق ( MFC ) يستخدم لقياس ومراقبة تدفق الغاز . أنها تلعب دورا هاما في صناعة أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة ، والمواد الخاصة ، والصناعة الكيميائية ، والصناعة ، والطب ، * * * * * * * * * * * * * * و فراغ مصباح مجموعة متنوعة من مجالات البحث العلمي والإنتاج . تطبيقات نموذجية تشمل المعدات الالكترونية ، مثل نشر CVD、 الأكسدة ، النقش البلازما ، الاخرق ، زرع الأيونات . و طلاء المعدات ، الألياف البصرية ، والصهر ، مايكرو رد فعل الجهاز ، نظام توزيع الغاز مختلطة ، الشعرية قياس ، كروماتوجرافيا الغاز وغيرها من الأدوات التحليلية .
المؤشرات الفنية الرئيسية
مجموعة ( 20 , 30 , 50 , 100 , 200 , 300 , 500 ) sccm ( 0 ~ 1 , 2 , 3 , 5 , 10 ) حركة تحرير السودان
دقة + 1.5 في المائة و
خطي + 0.5 ~ 1.5 في المائة و
تكرار الدقة + 0.2 في المائة و
زمن الاستجابة 10sec خصائص الغاز : ( 1 ~ 4 ) ثانية
فرق الضغط 0.1 ~ 0.5mpa
تحمل الجهد 3mpa 6mpa 10mpa
درجة حرارة بيئة العمل
بروتوكول الناقل Modbus RS485 الرقمية
التناظرية العاصمة 0 ~ 5V ، 4 ~ 20mA اختياري
الخصائص الكهربائية : حركة تحرير السودان
العاصمة + 15V / 24V اختياري ، تدفق متر < 50mA ، وحدة تحكم < 200mA
اتصال كهربائي DB15
معدل التسرب 1 × 10 sccshe
قاعدة الفولاذ المقاوم للصدأ 316L
ختم المواد fluororubber ، النيوبرين ، النيوبرين
وصلات الهواء ″ 3 ″ 6 ″ 10 ″ 1 / 8 ″ 1 / 4 ″ 3 / 8 ″
ملاحظة : كتلة تدفق متر تدفق كتلة تحكم عادة معايرة مع النيتروجين ( ن ) .
وحدة تدفق الشامل هو : SCCM ( معيار مل / دقيقة ) ؛ حركة تحرير السودان ( معيار لتر / دقيقة )
ذكي كتلة تدفق متر تدفق الغاز الساخن نوع كتلة صغيرة تحكم تدفق متر